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光学仪器及设备
Quorum Q150V PLUS系列超精细离子溅射镀膜仪
Quorum Q150R PLUS系列全自动离子溅射镀膜仪
ACCUR2000型倒置显微镜电动扫描平台
ACCUR1000显微镜电动样品台
英国Deben EBIC放大器(感生电流成像)
英国DEBEN KED Centaurus CL探测器
英国Deben Microtest 200N拉伸台
大腔室多功能高真空双头离子溅射镀膜仪
IV7全自动万能离子减薄仪
Quorum Q150T新型高真空离子溅射镀膜仪
制样/消解设备
美国EM-KLEEN电镜腔远程等离子清洁仪
Tergeo EM等离子清洁仪
Tergeo等离子清洁仪
美国PIE等离子清洗仪
低能量离子减薄仪
基于改装SEM的扫描电子束曝光系统(电子束曝光机\电子束微影术)
英国QUORUM Q150R新型真空磁控离子溅射镀膜仪
精密离子减薄仪
英国Quorum K1050X射频等离子刻蚀清洗系统
其他
Quorum Q150T PLUS系列全自动高真空离子溅射镀膜仪
德国Royal公司Intas系列凝胶成像系统
英国QuorumSC7620离子溅射镀膜仪
英国Quorum K950X高真空蒸镀仪
生物工程设备
DTC-100干式恒温器(制冷型)
DTH-100干式恒温器(加热型)
德国Ditabis/HLC模块调温器(加热/冷却)
德国Ditabis/HLC恒温混匀仪
恒温/加热/干燥设备
英国Quorum K850临界点干燥仪
英国Quorum临界点干燥仪E3100
英国Quorum K775X高真空冷冻干燥仪(液氮冷却)
微生物检测仪器
RB摇摇瓶MBS法微生物快速检测仪
比表面积测定仪
韩国接触角测量仪(界表面张力测量仪)
泵
机械真空泵油雾过滤器(滤芯式,国产)
X射线仪器
ASI光子计数型X射线探测器相机
液体处理设备
德国HLC自动型真空抽吸系统(吸液工作站)
辐射测量仪器
SC22型主动消磁系统(0.5Hz-5KHz)
临床检验仪器设备
德国皇家顶读式生化发光检测仪
混合机
MTH-100恒温混匀仪(加热型)
联系方式 |
产品系列
美国PIE Scientific LLC公司出品的SEMI-KLEEN 等离子清洗仪, 采用低压清洗技术,可清洗各种类型电子或者离子显微镜,深紫外光刻机,电子光刻系统等真空仪器。
本仪器由一个LCD触摸屏控制器和一个远程射频(RF)等离子源组成,远程等离子源通过一个KF40真空法兰连接到待清洗真空室,有转接法兰提供。主要用于清洗各种扫描电镜(SEM),透射电镜(TEM),聚焦离子系统(FIB),离子显微镜(HIM)等真空系统中碳氢及其他污染。同时清洗真空腔体和样品。(详情请咨询PIE中国总代理南京覃思科技有限公司)
一. 特有功能
1. 优越的等离子技术,可以在小于0.1毫托的气压下点火并且保持稳定的等离子体。*低工作气压比其他同类产品低10到100倍。低气压清洗速度更快,更均匀,对电子枪和分子泵更安全;
2. 即时等离子起辉技术。不用像在其他同类产品上那样担心等离子是不是成功起辉;
3. 带气压计的自动气体流量控制;
4. 实时测量等离子强度,用户可以根据这个实时反馈来优化清洗配方;
5. 自动射频匹配实时保证**化射频耦合,即使用户调节清洗配方;
6. **保护的双层颗粒过滤器设计保证我们的产品满足Intel,台积电,三星等半导体用户的严格颗粒污染要求;
7. 带LCD触摸屏的直观操作界面;
8. 微电脑控制器带可修改的智能清洗计划,设好就自动清洗您的系统;
9. 支持清洗配方,一键开始,自动射频匹配,自动控制气体流量;
10. 微电脑控制器可记录所有信息状态,便于系统维护。
二. 技术指标
1. 等离子源真空接口:NW/KF40 法兰; 提供转接法兰;
2. 标配等离子强度传感器;
3. 等离子源*低点火起辉气压:<0.1毫托;
4. 等离子源**工作气压:>1.0 托;
5. 漏气率:<0.005sccm;
6. 射频输出:0~100瓦,连续可调节;
7. 具有射频自动匹配功能
8. 电源和功率:110V/220V, 50/60 Hz, 200 瓦