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产品分类 |
光学仪器及设备
Quorum Q150V PLUS系列超精细离子溅射镀膜仪
Quorum Q150R PLUS系列全自动离子溅射镀膜仪
ACCUR2000型倒置显微镜电动扫描平台
ACCUR1000显微镜电动样品台
英国Deben EBIC放大器(感生电流成像)
英国DEBEN KED Centaurus CL探测器
英国Deben Microtest 200N拉伸台
大腔室多功能高真空双头离子溅射镀膜仪
IV7全自动万能离子减薄仪
Quorum Q150T新型高真空离子溅射镀膜仪
制样/消解设备
美国EM-KLEEN电镜腔远程等离子清洁仪
Tergeo EM等离子清洁仪
Tergeo等离子清洁仪
美国PIE等离子清洗仪
低能量离子减薄仪
基于改装SEM的扫描电子束曝光系统(电子束曝光机\电子束微影术)
英国QUORUM Q150R新型真空磁控离子溅射镀膜仪
精密离子减薄仪
英国Quorum K1050X射频等离子刻蚀清洗系统
其他
Quorum Q150T PLUS系列全自动高真空离子溅射镀膜仪
德国Royal公司Intas系列凝胶成像系统
英国QuorumSC7620离子溅射镀膜仪
英国Quorum K950X高真空蒸镀仪
生物工程设备
DTC-100干式恒温器(制冷型)
DTH-100干式恒温器(加热型)
德国Ditabis/HLC模块调温器(加热/冷却)
德国Ditabis/HLC恒温混匀仪
恒温/加热/干燥设备
英国Quorum K850临界点干燥仪
英国Quorum临界点干燥仪E3100
英国Quorum K775X高真空冷冻干燥仪(液氮冷却)
液体处理设备
德国HLC自动型真空抽吸系统(吸液工作站)
辐射测量仪器
SC22型主动消磁系统(0.5Hz-5KHz)
临床检验仪器设备
德国皇家顶读式生化发光检测仪
混合机
MTH-100恒温混匀仪(加热型)
微生物检测仪器
RB摇摇瓶MBS法微生物快速检测仪
比表面积测定仪
韩国接触角测量仪(界表面张力测量仪)
泵
机械真空泵油雾过滤器(滤芯式,国产)
X射线仪器
ASI光子计数型X射线探测器相机
联系方式 |
产品系列
它的主要特点是:
•Automated sequential sputtering 自动顺序溅射两层不同的成膜材料
•Dual sputter head 双溅射镀膜头
•Large format chamber 大腔室(300 mm D x 127 mm H,可选214mmH的高腔室)
•Coat logging facility 镀膜日志功能(记录*后100条执行过的镀膜参数)
•Fully automated touch-screen control 全自动触摸屏控制
•Customer defined coating protocols 用户自定义镀膜方案
•High resolution turbomolecular pumping涡轮分子泵抽真空,高分辨镀膜
•Vacuum shutdown 真空闭锁功能
•Dual channel film thickness monitor module,Q300T D can be fitted with an optional dual film thickness monitor (FTM), which measures the coating thickness on two quartz crystal monitors located within the chamber 双通道膜厚监控模块
•A flat, adjustable stage capable of accepting 4” (101.6 mm) wafers is supplied as standard with the Q300T D. This stage has a rotation speed of 14 to 38 rpm.As an accessory a 6”(152.4 mm) wafer stage is available 大样品台
•An optional lockable emergency stop switch is located in a position easily accessible for the operator, on top of the coater, to immediately cut power to the unit. 紧急停止开关