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光学仪器及设备
Quorum Q150V PLUS系列超精细离子溅射镀膜仪
Quorum Q150R PLUS系列全自动离子溅射镀膜仪
ACCUR2000型倒置显微镜电动扫描平台
ACCUR1000显微镜电动样品台
英国Deben EBIC放大器(感生电流成像)
英国DEBEN KED Centaurus CL探测器
英国Deben Microtest 200N拉伸台
大腔室多功能高真空双头离子溅射镀膜仪
IV7全自动万能离子减薄仪
Quorum Q150T新型高真空离子溅射镀膜仪
制样/消解设备
美国EM-KLEEN电镜腔远程等离子清洁仪
Tergeo EM等离子清洁仪
Tergeo等离子清洁仪
美国PIE等离子清洗仪
低能量离子减薄仪
基于改装SEM的扫描电子束曝光系统(电子束曝光机\电子束微影术)
英国QUORUM Q150R新型真空磁控离子溅射镀膜仪
精密离子减薄仪
英国Quorum K1050X射频等离子刻蚀清洗系统
其他
Quorum Q150T PLUS系列全自动高真空离子溅射镀膜仪
德国Royal公司Intas系列凝胶成像系统
英国QuorumSC7620离子溅射镀膜仪
英国Quorum K950X高真空蒸镀仪
生物工程设备
DTC-100干式恒温器(制冷型)
DTH-100干式恒温器(加热型)
德国Ditabis/HLC模块调温器(加热/冷却)
德国Ditabis/HLC恒温混匀仪
恒温/加热/干燥设备
英国Quorum K850临界点干燥仪
英国Quorum临界点干燥仪E3100
英国Quorum K775X高真空冷冻干燥仪(液氮冷却)
微生物检测仪器
RB摇摇瓶MBS法微生物快速检测仪
比表面积测定仪
韩国接触角测量仪(界表面张力测量仪)
泵
机械真空泵油雾过滤器(滤芯式,国产)
X射线仪器
ASI光子计数型X射线探测器相机
液体处理设备
德国HLC自动型真空抽吸系统(吸液工作站)
辐射测量仪器
SC22型主动消磁系统(0.5Hz-5KHz)
临床检验仪器设备
德国皇家顶读式生化发光检测仪
混合机
MTH-100恒温混匀仪(加热型)
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产品系列
仪器简介:
K1050X等离子处理单元由固态射频发生器结合调谐电路组成,同时两种处理气体流量针阀监控,全部或部分通气口控制。
它的腔室为圆柱形,样品装载为抽屉式抽拉系统,方便使用。
真空系统为旋转机械泵或可选用膜片泵作为前级真空的涡轮分子泵。
在真空装载端口及SEM/TEM中特殊的清洁应用时,可方便更换抽屉式抽拉系统。
此系统通常使用氧及氩的混合气体,氧去除有机物质(碳氢化合物),氩对样品表面进行刻蚀。
应用:
● 石棉试样制备
● 有机材料微观灰化
● SEM&TEM中有机样品刻蚀
● 去除光刻胶及电子元件中的包胶
● 塑料品的表面处理
● SEM/TEM中的样品夹清洗
● 煤的灰化
技术参数:
仪器尺寸:450mm W x 350mm D x 300mm H 重量:25Kg
桶形工作腔室:‘Pyrex’160mm L x 110mm Dia.(硼硅酸盐玻璃作为标准配置)
拉出式抽屉:样品托盘为抽拉式
等离子输出:射频电源-固态150瓦射频峰值,通常操作范围在25到75 瓦 @ 13.56mhz.
(备注:所使用的频率为国际标准组织CISPR认可的“工业”频率)
真空测量范围:完整的操作真空显示的活性计量头ATM - 1x10-5 mbar全刻度-通常操作真空为0.5mbar到1.0mbar
数字计时单元:99.9小时选择范围时间显示。在灰化过程结束后自动终止。
双气体流控制:双气体针阀控制,可选1或2或两种气体(校准5到 100cm3/分 空气 @ A.T.P.)
电源:230V 50Hz (包括泵**电流5 Amp);115V 60Hz(包括泵**电流10 Amp)
Services: Process Gas at nominal 5 psi, (0.33bar)
真空泵:No. 2 泵 (with a synthetic oil ''Fomblin'' for Oxygen or Corrosive Process Gases.) 2m3/Hr
主要特点:
特点:
● 固态射频发生器及调谐电路
● 全自动控制
● 抽屉式结构
● 两种处理气体
● 紧凑的台式系统
优点:
● 低温灰化过程
● 易操作
● 装/卸样品方便
● 可选择不同的混合气体
● 节省空间
● 注:我们建议使用No. 2泵,它具有“专用的油”。